關(guān)于百級(jí),千級(jí)萬(wàn)級(jí)的要求及他們的應(yīng)用
目前對(duì)潔凈室等級(jí)劃分濟(jì)常用的是美國(guó)聯(lián)邦FS
209E標(biāo)準(zhǔn)
常說(shuō)的100級(jí)潔凈室說(shuō)的就是指在1立方英尺的空間內(nèi),大于等于0.5微米的粒子必須不多于100個(gè),10級(jí)就是1立方英尺的空間,0.5微米的粒子必須不多于10個(gè),1000級(jí)則不能多于1000個(gè),
一般來(lái)說(shuō),1級(jí)潔凈室主要用于制造大規(guī)模集成電路的微電子工業(yè);10級(jí)的潔凈室主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體行業(yè);100級(jí)是濟(jì)常用的潔凈室,可用于醫(yī)藥中的無(wú)菌制造工藝、外科手術(shù)、人造內(nèi)臟器官和集成電路生產(chǎn);1000級(jí)主要用于光學(xué)產(chǎn)品和高質(zhì)量微型軸承的生產(chǎn),以及飛機(jī)陀螺儀的測(cè)試;10000級(jí)用于液壓設(shè)備或氣壓設(shè)備的生產(chǎn),有些情況下也用于食品飲料的生產(chǎn);100000級(jí)用于很多工業(yè)部門(mén)生產(chǎn)部門(mén),食品飲料和醫(yī)藥行業(yè)也常常使用這**潔凈室。