|
[Clean
ROOM]潔凈室，亦名無塵室或清凈室，目前已是半導(dǎo)體工業(yè)和生物化學(xué)、醫(yī)藥、食品界等不可或缺之重要設(shè)施。近幾年來，由于技術(shù)之創(chuàng)（新發(fā)展，對于產(chǎn)品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切，如超大型積體電路(VLSI，Very
Large Scale Integrated
Circuit)之研究制造，已成為世界各國在科技發(fā)展上極為重視之項目，我國亦不例外。然積體電路與精密軸承(Bearing)、太空航空儀器、光學(xué)機械等之精密機械產(chǎn)業(yè)，對于空氣中之浮游粒子、粉塵等之污染極為敏感，且對于產(chǎn)品之品質(zhì)、可靠性及良率高低有著極大之影響。由于以上之產(chǎn)品必須在良好之潔凈室內(nèi)進行生產(chǎn)制造，故工業(yè)用之潔凈室在各種產(chǎn)業(yè)上已被廣泛采用。另一方面在醫(yī)學(xué)上及醫(yī)療技術(shù)方面，對于手術(shù)室，新生兒室、重癥加護病房(Intensive
Care Unit, ICU)、燒的病房及冠狀動脈加護病房，(Coronary Care
Unit,CCU)等場所所為達成高度醫(yī)療效果，亦需有去除空氣中浮游無菌之無菌環(huán)境，以維人員生命可靠。其次在制藥工作、食品制造業(yè)及醫(yī)療儀器制造業(yè)、生化及細J培養(yǎng)等為提高產(chǎn)品品質(zhì)及可靠衛(wèi)生，以去除空氣中浮游微生物與外界異物之干擾侵犯之無菌潔凈室亦應(yīng)運而生。針對積體電路（半導(dǎo)體行業(yè)）而言，潔凈室重要之作用在于控制產(chǎn)品(如夕晶片等)所接軸之大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為[潔凈室}。換言之，潔凈室之定義為將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細J等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給于特別設(shè)計之房間。亦即是不論為在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能具有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。從另一角度看，潔凈室之立方英尺內(nèi)之空氣所含有大或等于0.5um(10-6M)之灰塵粒子不超過1顆；潔凈室10級則為不超過10顆，潔凈室100級，1000級......依此類推。我們可以一簡式表示之即Class1:≦1pc/ft3(@≧0.5um),Class10:≦10pcs/ft3(@≧0.5um)......。
由以上之定義，我們可知構(gòu)成潔凈室須具備以下之各項因素：
1.能除去空氣中漂游之微塵粒子。
2.能防止微塵粒子之產(chǎn)生。
3.溫度和濕度之控制。
4.壓力之調(diào)節(jié)。
5.有害氣體之排除。
6.結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性。
7.靜電之防制。
8.電磁干擾之預(yù)防。
9.可靠因素之考慮。
10.節(jié)能之考量。
|
