弟四節(jié)　振動控制

　　弟3.4.1條潔凈廠房和周圍輔助性站房內有強烈振動的設備(包括水泵等)及其通往潔凈室的管道，應采取積極隔振措施。

　　弟3．4．2條對潔凈廠房內外各類振源，應測定其對潔凈廠房的綜合振動影響。如受條件限制，也可根據經驗對綜合振動影響進行評價。并應與精密設備、精儀器儀表的允許環(huán)境振動值進行比較，以確定對其采取必要的隔振措施。

　　弟3．4．3條精密設備、精密儀器儀表的隔振措施，應考慮減少發(fā)生量、保持潔凈室內合理的氣流組織等要求。當采用空氣彈簧隔振臺座時，應地氣源進行處理，使其達到潔凈室的空氣潔凈度等級。


　　　　　　　　　　　　　　　　　　　弟四章 建筑

弟一節(jié) 一般規(guī)定

　　弟4．1．1條 潔凈廠房的建筑平面和空間布局，應具有適當的靈活性。潔 凈區(qū)的主體結構不宜采用內墻承重。

　　弟4．1．2條 潔凈室的高度以凈高控制，凈高應以100毫基本模數。

　　弟4．1．3條 潔凈廠房主體結構的耐久性與室內裝備和裝修水平相協(xié)調， 并應具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能（地震區(qū)應符合抗震設計規(guī)定）。 廠房變形縫應避免穿過潔凈區(qū)。

　　弟4．1．4條 送、回風管和其他管線需暗敷時，應設置技術夾層、技術夾 道或地溝等；穿越極層的豎向管線需暗敷時，宜設置技術豎井。

　　弟4．1．5條 對兼有一般生產和潔凈生產的綜合性廠房，其方案設計和構 造的處理，應避免在人流與物流運輸以及防火方面對潔凈生產帶來不利影響。

弟二節(jié) 人員凈化和物料凈化設施

　　弟4．2．1條 潔凈廠房內應設置人員凈化、物料凈化用室和設施，并應根 據需要設置生活用室和其他用室。

　　弟4．2．2條 人員凈化用室，宜包括雨具存放間、管理室、換鞋室、存外衣 室、盥洗室、潔凈工作服室和空氣吹淋室等。 廁所、淋浴室、休息室等生活用室以及工作服清洗間和干燥間等其他用室， 可根據需要設置。

　　弟4．2．3條 人員凈化用室和生活用室的設計，應符合下列要求：
　　　　一、人員凈化用室的入口處，應設凈鞋器。
　　　　二、存外衣室和潔凈工作服室應分別設置。外衣存衣柜和潔凈工作服柜應按 設計人數每人設
　　一柜。
　　　　三、盥洗室應設洗手和烘干設備。水龍頭應按濟大班人數每10人設一個。
　　　　四、潔凈區(qū)不得設廁所。人員凈化用室內的廁所應設前室。
　　　　五、空氣吸淋室應設在潔凈區(qū)人員入口處，并應與潔凈工作服室相鄰。單人 空氣吹淋室按濟
　　大班人數每30人設一臺。當僅為100級垂直層流潔凈室時，可改 設氣閘室。
　　　　潔凈區(qū)工作人員超過5人時，空氣吹淋室一側應設旁通門。

　　弟4．2．4條 人流路線應避免往復交叉。人員凈化用室和生活用室的布置， 一般按圖4．2．4的人員凈化程序進行布置。

　　弟4．2．5條 根據不同的空氣潔凈度等級和工作人員數量，潔凈廠房內人 員凈化用室和生活用室的建筑面積應合理確定。一般可按潔凈區(qū)設計人數平均每 人4～6平方米計算。

　　弟4．2．6條 潔凈工作服室內，對空氣凈化應有一定的要求。

　　弟4．2．7條 潔凈室的設備和物料出入口，應根據設備和物料的性質、形 狀等待征設置物料凈化用室及其設施。物料凈化用室的布置，應防止凈化后物料 在傳遞過程中被污染。


弟三節(jié) 防火和疏散

　　弟4．3．1條 潔凈廠房的耐火等級不應低于二級。吊頂材料應為非燃燒體， 其耐火極限不宜小于0．25小時。

　　弟4．3．2條 潔凈廠房內一般的生產工作間的火災危險性，可按附錄三進 行分類。

　　弟4．3．3條 甲、乙類生產的潔凈廠房，宜采用單層廠房。其防火墻間濟 大允許占地面積，單層廠房應為3，000平方米，多層廠房應為2，000平方米。

　　弟4．3．4條 甲、乙類生產或設置在甲、乙類生產環(huán)境中的裝配式潔凈室， 其頂棚和壁板（包括內部填充物）應為非燃燒體。

　　弟4．3．5條 在一個防火區(qū)內的綜合性廠房，其潔凈生產與一般生產區(qū)域 之間應設置非燃燒體隔墻封閉到頂。隔墻及其相應頂板的耐火極限不應低于1小 時，隔墻上的門窗耐火極限不應低于0．6小時。穿過隔墻或頂板的管線周圍空隙 應采用非燃燒材料緊密填塞。

　　弟4．3．6條 技術豎井井壁應為非燃燒體，其耐火極限不應低于1小時。井 壁上檢查門的耐火極限不應低于0．6小時；豎井內在各層或間隔一層樓板處，應 采用相當于樓板耐火極限的非燃燒體作水平防火分隔；穿過水平防火分隔的管線 周圍空隙，應采用非燃燒材料緊密填塞。

　　弟4．3．7條 潔凈廠房每一生產層、每一防火分區(qū)或每一潔凈區(qū)的可靠出 口的數量，均不應少于兩個。但符合下列要求者，可設置一個可靠出口：
　　　　一、甲、乙類生產廠房每層的總建筑面積不用過50平方米，且同一時間內的 生產人員總數不
　　用過5人；
　　　　二、丙、丁、戊類生產廠房，符合國家現行的《建筑設計防火規(guī)范》的規(guī)定 者。
　　　　可靠出口應分散均勻布置，從生產地點至可靠出口不用經過曲折的人員凈化 路線。

　　弟4．3．8條 潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)和潔凈區(qū)與室外相通的可靠疏散門應向疏 散方向開啟?？煽渴枭㈤T不得采用吊門、轉門、側拉門以及電控自動門。

　　弟4．3．9條 當潔凈廠房同層外墻上可供消防人員通往廠房潔凈區(qū)的門窗， 其洞口間距大于80米時，則應在該段外墻的適當部位設置專用消防口。 專用消防口的寬度不應小于750毫米，高度不應小于1800毫米，并應有明顯標志。樓層的專用消防口應附設陽臺，并從二層起向上設爬樓。


弟四節(jié) 室內裝修

　　弟4．4．1條 潔凈廠房的建筑圍護結構和室內裝修，應選用氣密性良好， 且在溫度和濕度等變化作用下變形小的材料。墻面內裝修當需附加構造骨架和保 溫層時。應采用非燃燒體或難燃燒體。

　　弟4．4．2條 潔凈室內墻壁和頂棚的表面，應符合平整、光滑、不起灰、 避免眩光、便于除塵等要求；應減少凹凸面，陰陽角做成圓角。室內裝修宜采用 于操作；如為抹灰時，應采用**抹灰標
準。

　　弟4．4．3條 潔凈室的地面，應符合平整、耐磨、易除塵清洗、不易積聚 靜電、避免眩光、并有舒適感等要求。

　　弟4．4．4條 潔凈廠房技術夾層的墻面、頂棚宜抹灰。如需在技術夾層內 更換高效空氣過濾器時，宜增刷涂料飾面。 地面、回風地溝和位于地下的技術夾層，應采用防水或防潮、防霉措施。 建筑風道和回風地溝的內表面裝修標準，應與整個送、回風系統(tǒng)相適應，并 應易于除塵。

　　弟4．4．5條 潔凈室和人員凈化用室設置的外窗，應采用雙層玻璃金屬窗，并應有良好的氣密性。

　　弟4．4．6條 潔凈室內的密閉門宜朝空氣潔凈度較高的房間開啟。無窗潔 凈室的密閉門上宜設觀察窗。

　　弟4．4．7條 潔凈室門窗、墻壁、頂棚、地（樓）面的構造和施工縫隙， 均應采取可靠的密封措施。

　　弟4．4．8條 潔凈室內的色彩宜淡雅柔和。室內各表面材料的光反射系數， 頂棚和墻面宜為0．6－0．8；地面宜為0．15--0．35。


弟五節(jié) 裝配式潔凈室

　　弟4．5．1條 在新建或改建的潔凈廠房設計中，對于面積不大、層高較低、 要求空氣潔凈度較高的生產環(huán)境可采用裝配式潔凈室。

　　弟4．5．2條 裝配式潔凈室所在的房間應有空氣凈化要求，并應與裝配式潔 凈室的空氣潔凈度等級相適應。外圍建筑的耐火等級不得低于二級。

　　弟4．5．3條 裝配式潔凈室頂棚可由裝配式潔凈室本身內壁板或支柱支承， 也可固定在外圍建筑上?；仫L地溝或回風地坑宜設在外圍建筑的地面以下。

　　弟4．5．4條 裝配式潔凈室設計應滿足在該室室內安裝壁板的要求。裝配 式潔凈室的構配件應做到：連接構造的整體性強、氣密性好，并便于組裝、拆卸、 包裝和運輸。

　　弟4．5．5條 裝配式潔凈室的四周壁板中，宜有一面或兩面緊貼或靠近外 圍建筑的墻壁。緊貼時，壁板與墻壁之間的安裝縫隙應封閉；靠近時，應留有清 掃距離。當裝配式潔凈室時,壁板外側設有技術夾道時，壁板與外圍建筑內墻面 之間凈寬不宜小于600毫米。


　　　　　　　　　　弟五章　空氣凈化

弟一節(jié)　一般規(guī)定

　　弟5．1．1條潔凈廠房內各潔凈室的空氣潔凈度等級的確定，應符合下列要求：
　　　　一、潔凈室內有多種工序時，應根據各工序的不同要求，采用不同的空氣潔凈度等級。
　　　　二、在滿足人生產工藝要求的前提下，潔凈室的氣流組級別，宜采用局部工作區(qū)空氣凈化和全
　　室空氣凈化相結合的形式。

　　弟5.1.2條 層流潔凈室和亂流潔凈室以及運行班次和使用時間不同的潔凈室，其凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)均宜分開設置。

　　弟5．1．3條潔凈室內的計算溫、溫度、應符合下列規(guī)定：
　　　　一、滿足生產工藝要求
　　　　二、生產工藝無溫、濕度要求時，潔凈室溫度為20～26度，溫度70度。

　　弟5．1．4條潔凈室內應保證一定的新鮮空氣量，其數值頻取下列風量中的濟大值；
　　　　一、亂流潔凈室總送風量的10%～30%，層流潔凈室總送風量的2～4%。
　　　　二、補償室內排風和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量。
　　　　三、保證室內每人每小時的新鮮空氣量不小于40立方米。

　　弟5．1．5條潔凈區(qū)的清掃，宜采用移動式高效真空吸塵器或設置集中式真空吸塵系統(tǒng)。潔凈室內集中式真空吸塵系統(tǒng)的管道，應暗敷。

　　弟5．1．6條在凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)設計中，對施工和維護管理要求，可按附錄四和附錄五的規(guī)定。


弟二節(jié)　潔凈室正壓控制

　　弟5．2．1條潔凈室必須維持一定的正壓。不同等級的潔凈室以及潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差，應不小于4.9Pa，潔凈區(qū)與室外的靜壓差，應不小于9.8Pa。

　　弟5．2．2條潔凈室維持不同的正壓值所需的正壓風量，宜按下式計算：

　　　　Q＝q1·Σ（q·L） 　　　　?。?.2.2）

　　　　式中：Q--維持潔凈室正壓值所需的正壓風量(米³/時)；
　　　　　　　a--根據圍擴結構氣密性確定的可靠系數，可取1.1～1.2；
　　　　　　　q--當潔凈室為某一正壓值時，其圍護結構單位長度縫隙的滲漏風量(米³/時·米)；
　　　　　　　L--圍擴結構的縫隙長度(米)。

　　弟5．2．3條圍護結構單位長度縫隙的滲漏風量，可按表5.2.3采用。

　　弟5．2．4條送風、回風和排風系統(tǒng)的啟閉聯(lián)鎖。系統(tǒng)開啟時，聯(lián)軸和序應為先啟動送風機，再啟動回風機和排風機，系統(tǒng)關閉時，則聞鎖程序應相反。

　　弟5．2．5條非連續(xù)運行的潔凈室，可根據生產工藝要求設置值班風機，并應對新風進行處理。
弟三節(jié)　氣流組組織和送風量

　　弟5．3．1 氣流組織的選擇，應符合下列要求：
　　　　一、潔凈工作區(qū)的氣流速度，應滿足空氣潔凈度和人體健康的要求，并應使?jié)崈艄ぷ鲄^(qū)氣流流
　　 向單一。
　　　　二、回風口宜均勻布置在潔凈室下部。
　　　　三、余壓閥宜設在潔凈室氣流的下風側，不宜設在潔凈工作區(qū)高度范圍內。

　　弟5．3．2條潔凈室的氣流組織和送風量，宜按表5.3.2選用。

　　弟5．3．3條亂流潔凈室的送風量，應取下列規(guī)定的濟大值；
　　　　一、為控制室內空氣潔凈度所需要的送風量。
　　　　二、按表5.3.2規(guī)定的送風量。
　　　　三、根據熱、濕負荷計算和稀釋有害氣體所需的送風量。
　　　　四、按空氣平衡所需要的送風量。

　　 弟5.3.4條當生產工藝僅要求在潔凈室內局部工作區(qū)達到更高的空氣潔凈度時，其氣流組織設計應
使?jié)崈魵饬魇紫攘鹘浽摴ぷ鲄^(qū)，或在潔凈室的不同區(qū)域形成不同氣流流型和空氣潔凈度等級的潔凈工作區(qū)，其型式可分別按圖5.3.4-1、5.3.4-2。

　　弟5．3．5條層流潔凈室內不宜設置潔凈工作臺；亂流潔凈室內可設置潔凈工作臺，但其位置應遠離回風口。

　　弟5．3．6條潔凈室內有局部排風裝置時，其位置應設在工作區(qū)氣流的下風側。


弟四節(jié)　空氣凈化處理

　　弟5．4．1條各等級空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應采用初效、中效、高效空氣過濾器三級過
濾。
　　　　注1：100，000級空氣凈化處理，可采用亞高效空氣過濾器代高效空氣過濾器。

　　弟5．4．2條確定集中式或分散式凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)時，應綜合考慮生產工藝特點和潔凈室空氣潔凈度等級、面積、位置等因素。凡生產工藝連續(xù)、潔凈室面積較大時，位置集中以及噪聲控制和振動控制要求嚴格的潔凈室，宜采用集中式凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)。

　　弟5．4．3條凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)設計應合理利用回風，凡工藝過程產生大量有害物質且局部處理不能滿足衛(wèi)生要求，或對其他工序有危害時，則不應用回風。

　　弟5．4．4條凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)除直流式系統(tǒng)和設置值班風機的系統(tǒng)外，應采取防止室外污染空氣通過新風口參入潔凈室內的防倒灌措施。

　　弟5．4．5條空氣過濾器的選用布置和安裝方式，應符合下列要求：
　　　　一、初效空氣過濾器不應選用浸油式過濾器。
　　　　二、中效空氣過濾器宜集中設置在凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)的正壓段。
　　　　三、高效空氣過濾器或亞高效空氣過濾器宜設置在凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)末端。
　　　　四、中效、亞高效、高效空氣過濾器宜按額定風量選用。
　　　　五、阻力、效率相近的高效空氣過濾器宜設置在同一潔凈室內。
　　　　六、高效空氣過濾器安裝方式應簡便可靠，易于檢漏和更換。

　　弟5．4．6條送風機可按凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)的總送風量和總阻力值進行選擇，中效、高效空氣過濾器的阻力宜接其初阻力的兩倍計算。

　　弟5．4．7條凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)如需電加熱時，應選用管狀電加熱器，位置應布置在高效空氣過濾器的上風側，并應有防火可靠措施。


弟五節(jié)　采暖通風

　　弟5．5．1條潔凈室的采暖型式，應按下列不同情況確定：
　　　　一、100級、1000級、10，000級潔凈室，不應采用散熱器采暖，100，000級潔凈室，不宜采用
　　 散熱器采暖。
　　　　二、值班采暖可利用技術夾道的散熱器進行間接采暖?；虿捎瞄g歇運行凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)，值
　　 班風機系統(tǒng)進行熱風采暖。

　　弟5.5.2條散熱器應采用表面光滑不易積塵、便于清掃的形式。

　　弟5．5．3條潔凈室內產生粉塵和有害氣體的工藝設備，應設局部排風裝置、排風罩的操作口面積應盡量縮小。

　　弟5．5．4條局部排風系統(tǒng)在下列情況下，應單獨設置：
　　　　一、非同一凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)。
　　　　二、排風介質混合后能產生或加劇腐蝕性、毒性、燃燒爆炸危險性。
　　　　三、所排出的有害物毒性相差很大。

　　弟5.5.5條潔凈室的排風系統(tǒng)設計，應采取下列措施：
　　　　一、防倒灌措施。
　　　　二、含有易燃、易爆物質局部排風系統(tǒng)的防火、防爆措施。

　　弟5．5．6條換鞋室、存外衣室、盥洗室、廁所和淋浴室等，應采取通風措施，其室內的靜壓值，應低于潔凈區(qū)。

　　弟5．5．7條潔凈室事故排風系統(tǒng)的換氣次數，應采用每小時15～20次。 事故排風裝置的控制開
關，應分別設在潔凈室和室外便于操作的地點，并應與凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)聯(lián)鎖，其室內宜設報警裝置。


弟六節(jié)　風管和附件

　　弟5．6．1條風管斷面尺寸的確定，應考慮能對風管內壁進行清潔處理，并在適當位置設置密閉的清掃口。風管壁厚按附錄六選用。

　　弟5．6．2條凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)的新風管、回風總管，應設置密閉調節(jié)閥。送風機的吸入口處和需要調節(jié)風量處，應設置密閉調節(jié)閥。送風機的吸入口處和需要調節(jié)風量處，應設置調節(jié)閥。潔凈室內的排風系統(tǒng)，應設置調節(jié)閥、止回閥或密閉閥?？傦L管穿過樓板和風管穿過防火墻處，必須設置防火閥。

　　弟 5．6．3條凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)的風管和調節(jié)閥以及高效空氣過濾器的保護網、孔板和擴散孔板等附件的制作材料和涂料，應根據輸送空氣的潔凈要求及其所處的空氣環(huán)境條件確定。 潔凈室內排風系統(tǒng)的風管、調節(jié)閥和止回閥等附件的制作材料和涂料，應根據排除氣體的性質及其所處的空氣環(huán)境條件確定。

　　弟5．6．4條在中效和高效的空氣過濾器前后，應設置測壓孔。在新風管和送回風總管以及需要調節(jié)風量的支管上，應設置風量測定孔。

　　弟5．6．5條排除腐蝕性氣體的風管，可采用塑料風管，其他風管以及風管的保溫和游泳場材料及其粘結劑，應采用非燃燒材料或難燃燒材料。


　　　　　　　　　　　　　　　　　　弟六章 給水排水

弟一節(jié) 一般規(guī)定

　　弟6．1．1條 潔凈廠房內的給水排水干管，應敷設在技術夾層、技術豎井、　地溝管槽內或地下埋設。潔凈室內應少敷設管道。引入潔凈室的支管宜明敷，但對空氣潔凈度等級要求高的潔凈室可暗敷。

　　弟6．1．2條 潔凈廠房內的管道外表面，如可能結露，應采取防結露措施。

　　弟6．1．3條 管道穿過潔凈室頂棚、墻壁和樓板處應設套管。管道與套管 之間應采取可靠的密封措施。

　　弟5．1．4條 管道不宜穿過防火墻。如必須穿過時，穿墻管及其套管應為 非燃燒體管材。


弟二節(jié) 給水

　　弟6．2．1條 潔凈廠房內的給水系統(tǒng)設計，應根據生產、生活和消防等各 項用水對水質、水溫、水壓和水量的要求，分別設置直流、循環(huán)或重復利用的給 水系統(tǒng)。高純水系統(tǒng)應設置循環(huán)管道。

　　弟6．2．2條 管材的選擇，應符合下列要求：
　　　　一、純水管、高純水管應采用硬聚氯乙烯管、聚丙烯管或不銹鋼管；
　　　　二、冷卻循環(huán)給水和回水管宜采用鍍鋅鋼管；
　　　　三、生產用水設備與管道的連接宜采用上等軟管；
　　　　四、管道的配件應采用相應的材料。

　　弟6．2．3條 潔凈廠房內可設置開水供應設施；盥洗室內的盥洗盆宜供應 熱水；軟化水、純水管適應預留清洗口；純水終端凈化裝置應放在靠近用水點處。

　　弟6．2．4條 潔凈廠房的周圍，應設置灑水設施。


弟三節(jié) 排水

　　弟6．3．1條 潔凈廠房的排水系統(tǒng)設計，應根據生產排出的廢水性質、濃 度、水量等特點確定排水系統(tǒng)，并應有廢水處理或綜合利用設施。

　　弟6．3．2條 潔凈室內的排水設備以及與重力回水管道相連接的設備，必 須在其排出口以下部位設水封裝置，并應有防止水封被破壞的設施。

　　弟6．3．3條 100級、1000級潔凈室內，不宜設置地漏；如必須設置時，應 采用有蓋地漏，并不應設排水溝。10，000、100，000級潔凈室內允許穿過排水 豎管，但在豎管上不得設置檢查口。

　　弟6．3．4條 潔凈廠房內應采用不易積存污物、易于清掃的衛(wèi)生器具、管 材、管架及其附件。


弟四節(jié) 消防設施

　　弟6．4．1條 潔凈廠房應根據生產的火災危險性分類和建筑物耐火等級等 因素確定消防設施。

　　弟6．4．2條 潔凈廠房室內消火栓給水系統(tǒng)的消防用水量不應小于10升／ 秒，每股水量不應少于5升／秒；
　　弟6．4．3條 潔凈廠房的消火栓設置，應符合下列要求：
　　　　一、消火栓的水槍充實水柱，不應小于10米。
　　　　二、消火栓的栓口直徑應為65毫米，配備的水帶長度不應超過25米，水槍噴 嘴口徑不應小于
　　19毫米。

　　弟6．4．4條 潔凈室及其技術夾道和技術夾層內，均宜同時設置鹵代烷或 二氧化碳等滅火設施和消防給水系統(tǒng)。對設有貴重設備儀器或生產的火災危險性 較大的潔凈室，以及當火災發(fā)生時消防人員難以進入撲救的技術夾層和技術夾道 等部位，應同時設置鹵代烷或二氧化碳等固定滅火裝置和消防給水系統(tǒng)。


　　　　　　　　　　弟七章　工業(yè)氣體管道

弟一節(jié)　一般規(guī)定

　　弟7．1．1條工業(yè)氣體管道的干管，應敷設在技術夾層、技術夾道內。氫氣和氧氣管道且明敷，如敷設在技術夾層、技術夾道內時，應采取良好的通風措施。 引入潔凈的支管宜明敷。

　　弟7．1．2條高純氣體管道設計，應符合下列要求：
　　　　一、根據計算確定管徑。
　　　　二、管道系統(tǒng)應盡量短。
　　　　三、不宜設預留口。
　　　　四、不應出現"盲管"等不易吹除的部位。
　　　　五、干管不支管上應設置吹除口。
　　　　六、在管系統(tǒng)上應設置吹除口。

　　弟7.1．3條穿過潔凈室墻壁或樓板的氣體管道，應敷設在預埋套管內，套管內的管段不應有焊縫。管道與套管之間應采取可靠的密封措施。

　　弟7．1．4條氫氣和氧氣管道的末端或濟高點宜設放散管。放散管應高出屋脊1米，并應設在防雷保護區(qū)內。

　　弟7．1．5條氣體凈化裝置應根據氣源和生產工藝對氣體統(tǒng)一計劃的要求進行選擇。氣體終端凈化裝置應設在靠近用氣點處。

　　弟7．1．6條氣體過濾器應根據生產工藝對氣體含塵量的要求進行選擇。高純氣體管道應裝設高效氣體過濾器。


弟二節(jié)　管道材料、閥門和附件

　　弟7．2．1條根據不同的氣體及其純度和用途，管道材料應按下列規(guī)定選用：
　　　　一、氣體純度大小或等于99.999%時，應采用不銹鋼管。
　　　　二、氣體純度大于或等于99.99%時，宜采用不銹鋼管、銅管、無縫鋼管。
　　　　三、氣體純度小于99.99%時，可采用無縫鋼管。
　　　　四、管道與設備的連接段，宜采用金屬管道；如為非金屬軟管時，宜采用聚四氟乙烯管、聚乙
　　烯管、不得采用乳膠管。

　　弟7．2．2條高純氣體管道應采用密封性能好的低門和附件，其材料與管道相適應。閥門的密合圈應為有色金屬、不銹鋼或聚四氟乙烯材料。閥門的填塞料應采用聚四氟乙烯材料。

　　弟7．2．3 高純氣體管道與附件連接的密封墊，應采用不銹鋼、有色金屬、聚四氟乙烯或氟橡膠材料。


弟三節(jié)　管道連接和清洗

　　弟7．3．1條管道連接應采用焊接。高純氣體管道應采用承插焊。

　　弟7．3．2條管道與設備、閥門的連接處，宜采用法蘭、螺紋或其它密封性能優(yōu)良的連接件。螺紋處宜采用聚四氟乙烯帶密封。

　　弟7．3．3條 高純性氣體管道內的內壁、閥門和附件在安裝前，應進行清洗、脫脂等預處理。


弟四節(jié)　可靠技術

　　弟7．4．1條 工業(yè)氣體管道設計的可靠技術，應符合下列規(guī)定；
　　　　一、氫氣管道的支管和放散管上，應設置回火防止器。
　　　　二、氫氣和氧氣管道應設置導除靜電裝置。
　　　　三、各種氣體管道應設明顯標志。

　　弟7．4．2條潔凈室內使用氫氣時，宜在室內設置報警裝置。

　　弟7．4．3條各種氣瓶應集中設置在潔凈廠房外，當日用氣量不超過一瓶時，氣瓶可設置在潔凈室內。